日本MIKASA旋转涂布机 MS-B150 系列

2022-11-30 16:24:32 admin

光刻术。com,从旋涂机(涂敷机)处理着面罩准直器(曝光装置),显影·蚀刻的研究用实验室机。
同时,作为测量,膜厚测量,台阶,线宽·形状测量的各种测量机也处理着。

<最大对应尺寸>
<最大对应尺寸>

4英寸
6英寸
8英寸
12英寸
MS-B100
MS-B150
MS-B200
MS-B300

100×100mm
150×150mm
S-B200(密闭型)
S-B300(密闭型)

●样品台(标准)
●样品台(特别订购)

MS-B150

φ6英寸晶圆100×100mm基板对应模型
MS-B150

产品规格

最大基板尺寸φ6英寸晶片或100×100mm基板
转数20~7,000
旋转精度±1rpm(负载时)
发动机AC伺服电动机
盖子丙烯
旋转室内直径φ290mm
步骤模式数100步×10种模式
时间设置999.9sec
安全联锁真空标准装备
盖选项
滴加装置选项卡页面上创建或编辑条目
使用真空压-0.08~-0.1MPa
电源AC100~240V 5A
外形尺寸(mm)352W×303H×432D
重量16kg

※规格可能会在没有预告的情况下变更。

膜厚分布数据

膜厚分布データ

↑Click Zoom

使用机型MS-B150
抗蚀剂OFP-800LB(东京应化社制)
基板尺寸φ6英寸硅晶片
靶膜厚度1μm
膜厚分布±0.6%


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