日本Otsuka大塚OPTM SERIES显微分光膜厚仪

2022-08-12 10:03:44 admin

日本Otsuka大塚OPTM SERIES显微分光膜厚仪


● 非接触、非破坏式,量测头可自由集成在客户系统内

● 初学者也能轻松解析建模的初学者解析模式

● 高精度、高再现性量测紫外到近红外波段内的**反射率,可分析多层薄膜厚度、光学常数(n:折射率、k:消光系数)

● 单点对焦加量测在1秒内完成

● 显微分光下广范围的光学系统(紫外 ~ 近红外)

● 独立测试头对应各种inline定制化需求

● 小对应spot约3μm

● 砖利可针对超薄膜解析nk

● 反射率分析

●多层膜解析(50层)

●光学常数(n:折射率、k:消光系数)  

膜或者玻璃等透明基板样品,受基板内部反射的影响,无法正确测量。OPTM系列使用物镜,可以物理去除内部反射,即使是透明基板也可以实现高精度测量。此外,对具有光学异向性的膜或SiC等样品,也可完全不受其影响,单独测量上面的膜。

                                                                                                    (砖利编号    第 5172203 号)
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● 半导体、复合半导体:硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、介电常数材料

● FPD:LCD、TFT、OLED(有机EL)

● 资料储存:DVD、磁头薄膜、磁性材料

● 光学材料:滤光片、抗反射膜

● 平面显示器:液晶显示器、薄膜晶体管、OLED

● 薄膜:AR膜、HC膜、PET膜等

 其它:建筑用材料、胶水、DLC等



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