光学器件批量生产的纳米压印解决方案

2023-03-26 00:34:56 周一民

光学器件批量生产的纳米压印解决方案

1、简介

       EVG7300 是蕞先近的 EVG 解决方案,可将多种基于 UV 的工艺(例如纳米压印光刻 (NIL)、透镜成型和透镜堆叠(UV 键合))集成在一个平台。

       EVG7300 SmartNIL® 纳米压印和晶圆级光学系统是一种多功能、先进的解决方案,在一个平台中结合了多种基于紫外线的工艺能力。

       SmartNIL® 结构化增强现实 (AR) 波导和晶圆级微透镜印记展示了新型 EVG7300 的应用多功能性。

EVG7300_纳米压印设备.jpg

       奥地利弗洛里安,报道— 为MEMS、纳米技术和半导体市场提供晶圆键合和光刻设备的领仙供应商 EV Group (EVG) 推出了 EVG7300 自动化 SmartNIL纳米压印和晶圆级光学系统。 
       EVG7300 是该公司蕞先近的解决方案,将多种基于 UV 的工艺能力结合在一个平台中,例如纳米压印光刻 (NIL)、透镜成型和透镜堆叠(UV 键合)。这个准备就绪的多功能系统旨在满足涉及微米和纳米图案以及功能层堆叠的各种新兴应用的高级研发和生产需求。其中包括晶圆级光学器件 (WLO)、光学传感器和投影仪、汽车照明、增强现实耳机的波导、生物医疗设备、超透镜和超表面以及光电子学。 EVG7300 支持高达 300 毫米的晶圆尺寸,并具有高精度对准、先进的工艺控制和高产量,可满足各种自由形状和高精度纳米和微米光学元件和设备的大批量制造需求。

纳米压印镜头制作.jpg

       EV Group 企业技术总监 Thomas Glinsner 表示:“凭借 20 多年的纳米压印技术经验,EV Group 继续开拓这一关键领域,开发创新解决方案,以满足客户不断变化的需求。” “我们蕞新推出的纳米压印解决方案系列 EVG7300 将我们的 SmartNIL 全场压印技术与镜头成型和镜头堆叠结合在蕞先近的系统中,并具有市场上蕞精确的对准和工艺参数控制——为我们的客户提供前所未有的灵活性,以满足他们的行业研究和生产需求。”
       EVG7300 系统在 EVG 的 HERCULES® NIL 完全集成的 UV-NIL 跟踪解决方案中作为独力工具和集成模块提供,其中额外的预处理步骤,如清洁、抗蚀剂涂层和烘烤或后处理,可以添加以针对特定的过程需求进行优化。该系统具有行业领仙的对准精度(低至 300 nm),这是通过对准台改进、高精度光学、多点间隙控制、非接触式间隙测量和多点力控制的组合实现的。 EVG7300 是一个高度灵活的平台,提供三种不同的工艺模式(透镜成型、透镜堆叠和 SmartNIL 纳米压印),并支持从 150 毫米到 300 毫米晶圆的基板尺寸。快速加载印模和晶圆、快速对准光学器件、高功率固化和小工具占用空间,使高效平台能够满足行业对新兴 WLO 产品的制造需求。
2、产品可用性
       EVG 目前正在接受该系统的订单,产品演示现已在位于公司总部的 EVG 的 NILPhotonics® 能力中心提供。有关 EVG7300 自动化 SmartNIL 纳米压印和晶圆级光学系统的更多信息,请访问 https://www.evgroup.com/products/nanoimprint-lithography/uv-nil-smartnil/evg-7300/。
3、EVG参加SPIE AR/VR/MR 2022
       EVG 在 SPIE AR/VR/MR 会议和展览上就 NIL 在制造增强现实波导中的好处进行受邀演讲,该会议与在旧金山 Moscone 中心举行的 SPIE Photonics West 共同举办1 月 22 日至 27 日。 EVG 也是此次活动的参展商,将展示其用于光学和光子器件及应用的先进制造解决方案。
4、关于 EV 集团 (EVG)
       EV Group (EVG) 是半导体、微机电系统 (MEMS)、化合物半导体、功率器件和纳米技术器件制造设备和工艺解决方案的领仙供应商。 主要产品包括晶圆键合、薄晶圆加工、光刻/纳米压印光刻 (NIL) 和计量设备,以及光刻胶涂布机、清洁剂和检测系统。 EV Group 成立于 1980 年,为遍布全球的全球客户和合作伙伴网络提供服务和支持。 有关 EVG 的更多信息,请访问我们的官网。

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2023.3.26


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