KASUGA春日静电电位传感器KS-3101
支持真空的静电电位传感器( KS-3101 )
由于真空中缓和静电的气体成分稀薄，静电会导致比大气压环境更严重的生产障碍。
支持真空的静电电位传感器是使用能够在真空环境下使用的材料或部件，可以用于测量真空内产生的静电的传感器。 请用于确定真空工序中静电产生的原因，以及连续监视静电电位。
各种特性
大气压、真空中的线性度
图表是用KS-3101测量在真空室内施加任意电压的带电板的电位的结果。 即使在不同的压力环境下(真空下10-3Pa、大气压下10+5Pa )，也无需校正即可获得相等的测量值。
※该数据为实测值，并非保证值。
真空兼容静电电位传感器测量对真空室的影响
●排气分析比较
根据对传感器释放的出气的分析，确定了气体的主要成分是由水和微量的碳氢化合物引起的。 由于各个峰值与背景测量的峰值相同，因此可以认为是来自环境中吸附在传感器表面的气体。
●到达真空度的比较
排气装置:涡轮分子泵TG220FCAB ㈱ (株)大阪真空设备制作所制
排气速度: 220 L/sec (N2 )
暗箱尺寸:φ300 × L 300㎜
※该数据为实测值，并非保证值。
规格
| 型号 | KS-3101 |
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| 检测方式 | 振动型表面电位传感器 |
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| 推荐使用真空度 | 10 5Pa (大气压)、10-1~10-5帕a |
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| 测量范围 | HIGH范围:0~±20.0kV (测量距离100mm ) LOW范围:0~±2000V (测量距离10mm ) |
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| 测量精度 | ±10%以内 |
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| 警报 | 检测传感器故障LED显示 |
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| 使用环境 | 温度0~40℃、湿度65%以下(无结露) |
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| 质量 | 约130g (不含电缆、控制箱) |
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| 构成必需品 | 真空用电缆: KS-3101-C01 (电缆长1m，可延长) 控制箱: KS-3101-B05 (带大气侧电缆5M，可延长) 控制器: KSD-0110或KSD-0120 |
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※真空法兰请用户自行准备。
配置
控制器
※控制器KSD-0110、KSD-0120的规格请在各个页面进行确认。
尺寸各部分的名称
①测量部
②调零部
③外壳(不锈钢镜面抛光)
④安装垫片(特氟隆)
⑤量程切换开关
⑥动作故障指示灯
⑦带电指示灯( 0、+、- )
⑧专用电缆(带连接器)
