日本MIKASA株式会社旋涂机(涂布机)销售

2022-11-29 09:33:03 admin

日本MIKASA株式会社旋涂机(涂布机)销售

旋涂机(涂布机)

《旋涂机MS-B系列比较表》

机型最大基板尺寸旋转数
(rpm)
滴加装置电源外形尺寸(mm)
<W×H×D>
<晶片><基板(mm)>
MS-B100φ4英寸75×7520~8,000不可安装AC100~240V 5A259×246×330
MS-B150φ6英寸100×10020~7,000选项卡页面上创建或编辑条目352×303×432
MS-B200φ8英寸150×15020~5,000500×335×583
MS-B300φ12英寸200×20020~5,000AC200~240V单层5A545×432×654
S-B200密闭型-什么100×10020~3,000不可安装AC100~240V 5A540×460×630
S-B300密闭型-什么150×15020~3,000选项卡页面上创建或编辑条目AC200~240V单层5A570×590×650

旋涂机MS-B100[φ4英寸晶圆75×75mm基板对应模型]

最大基板尺寸φ4英寸晶圆
或75×75mm基板
转数20~8,000
旋转精度±1rpm(负载时)

旋转编码器MS-B100的详细产品规格在这里»

スピンコーター MS-B100 膜厚画像

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スピンコーター MS-B100

旋涂机MS-B150[φ6英寸晶圆100×100mm基板对应模型]

最大基板尺寸φ6英寸晶圆
或100×100mm基板
转数20~7,000
旋转精度±1rpm(负载时)

旋转编码器MS-B150的详细产品规格在这里»

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スピンコーター MS-B150

旋涂机MS-B200[φ8英寸晶圆150×150mm基板对应模型]

最大基板尺寸φ8英寸晶圆
或150×150mm基板
转数20~5,000
旋转精度±1rpm(负载时)

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スピンコーター MS-B200

旋涂机MS-B300[φ12英寸晶圆200×200mm基板对应模型]

最大基板尺寸MAXφ12英寸
或200×200mm基板
转数20~5,000
旋转精度±1rpm(负载时)

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スピンコーター MS-B300

旋涂机MS-B200密闭型[密闭式小型角基板专用模型]

最大基板尺寸100×100mm基板
转数20~3,000
旋转精度±1rpm(负载时)

旋转编码器MS-B200密闭型的详细产品规格在这里»

スピンコーター MS-B200密閉型 膜厚画像

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スピンコーター MS-B200密閉型

旋涂机MS-B300密闭型[密闭式大型角基板专用模型]

最大基板尺寸150×150mm基板
转数20~3,000
旋转精度±1rpm(负载时)

旋转编码器MS-B300密闭型的详细产品规格在这里»

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スピンコーター MS-B300密閉型


试料台

光刻术。com根据用途准备了旋转涂布机的样品台的标准品。
另外,关于其他方面,因为有特别订购的对应,请随时咨询。

●样品台(标准)●样品台(特别订购)

S-B100用
S-B150用




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