日本MIKASA MS-B100 涂布机

2022-11-29 16:23:04 admin

旋涂机(涂布机)光刻术。com,从旋涂机(涂敷机)处理着面罩准直器(曝光装置),显影·蚀刻的研究用实验室机。同时,作为测量,膜厚测量,台阶,线宽·形状测量的各种测量机也处理着。

产品规格

最大基板尺寸φ4英寸晶片或75×75mm基板
转数20~8,000
旋转精度±1rpm(负载时)
发动机AC伺服电动机
盖子丙烯
旋转室内直径φ220mm
步骤模式数100步×10种模式
时间设置999.9sec
安全联锁真空标准装备
盖选项
滴加装置不可安装
使用真空压-0.08~-0.1MPa
电源AC100~240V 5A
外形尺寸(mm)259W×246H×330D
重量10kg

※规格可能会在没有预告的情况下变更。

膜厚分布数据

膜厚分布データ

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使用机型MS-B100
抗蚀剂OFP-800LB(东京应化社制)
基板尺寸φ4英寸硅晶片
靶膜厚度1μm
膜厚分布±0.8%



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